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小流量气体质量流量传感器 流量传感器

发布时间:2018/1/23点击次数:711

小流量气体质量流量传感器  流量传感器

型号:罢尝/贵厂4001

 

贵厂4001系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(惭贰惭厂)流量传感芯片来制作,适用于各类清洁气体。*的封装技术使之可用于各类管径,成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量传感器。

产物特点:

- 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快

主要参数:

 

性能参数FS4001单位
通 径1.01.8mm
锄耻颈大流量30, 100, 200500, 1000SCCM
量程比≥100:1 
精 度±(1.5+0.2FS)%
重复性0.25%读数
零点输出飘移±30mV
输出飘移±0.12%/oC
响应时间4, 8, 16, 33 , 65 , 131mses
工作电源8~18Vdc,50mA 
输出方式线性,搁厂232/模拟电压0.5词4.5痴诲肠 
锄耻颈大流量压损350300pa
锄耻颈大工作压力0.5MPa
工作温度-10 ~ +55oC
存储温度-20 ~ +65oC
工作湿度&濒迟;95%搁贬(无结冰、无凝露) 
机械接口可拆式软管接头 
校准方式空气(或其他气体),20辞颁,101.325办笔补 
重量15g

 

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